當前位置: 華文世界 > 科技

ASML的High-NA EUV光刻機有多重?

2024-02-12科技

近日,全球領先的半導體裝置制造商荷蘭ASML公司震撼釋出了其最新研發成果——一款名為High-NA(高數值孔徑)極紫外(EUV)光刻機的尖端制造裝置。這款價值高達3.5億歐元(當前折合人民幣約27.2億元)的巨型裝置,憑借其重量堪比兩架空客A320客機的龐大規模,被ASML視為芯片制造商參與人工智慧技術熱潮的關鍵裝備。

這款精密復雜的High-NA EUV光刻機已經獲得了行業巨頭英特爾公司的訂單,首台樣機在去年年底已成功送達位於美國奧勒岡州的D1X工廠。按照計劃,英特爾將在2025年年底啟動該系統在生產線上的實際套用。新一代光刻機能在半導體晶圓上實作僅8奈米線寬的蝕刻精度,相較於上一代產品提升了近1/1.7倍,這一突破性的改進意味著單個芯片能夠容納更多數量的晶體管,從而大幅提高運算速度和儲存容量,這對於滿足日益增長的人工智慧工作負載需求至關重要。

ASML執行長Peter Wennink在早前接受彭博社采訪時明確表示:「人工智慧的發展對海量計算能力和數據儲存有著無盡渴求。我認為,在沒有ASML的技術支持下,這樣的飛躍式進步幾乎是不可能達成的。而我們的High-NA EUV光刻機正是推動這一趨勢的核心動力。」作為目前唯一能提供最先進半導體制造裝置的供應商,ASML的產品銷量及訂單狀況被視為整個行業景氣程度的重要晴雨表。就在最近一個季度,該公司收到了創紀錄的頂級EUV光刻機訂單,顯示出包括英特爾、三星電子以及台積電在內的各大客戶對該前沿技術的高度期待和樂觀前景。

在荷蘭費爾霍芬舉行的媒體參觀活動中,ASML發言人Monique Mols透露了安裝這台重達150,000公斤的超級裝置所面臨的巨大挑戰。從卸貨到完成安裝偵錯,總計耗時6個月,過程中動用了多達250個貨櫃,聯集結了250名工程師協同作戰。值得註意的是,自2018年以來,隨著OpenAI近期推出的ChatGPT等生成式人工智慧套用在全球範圍內引發爆炸性關註,半導體行業對處理能力提升的需求達到前所未有的高度。ASML在此之前已銷售低數值孔徑EUV光刻機多年,售價為1.7億歐元(當前折合人民幣約13.21億元)。

總結來說,ASML此次釋出的High-NA EUV光刻機不僅代表著微電子制造工藝的重大突破,更為應對未來人工智慧領域對高效能芯片的迫切需求鋪平了道路。透過這種先進技術的商業化部署,ASML不僅鞏固了自己在全球半導體裝置市場中的領導地位,更是在很大程度上驅動著整個行業向著更高水平、更精細制程的方向疾速邁進。隨著人工智慧技術的持續革新與普及,此類高端芯片制造工具將有望成為支撐新一輪科技革命的重要基石。